各個國家都有一定的規(guī)格，一般基本上根據(jù)美國聯(lián)邦政府發(fā)布的規(guī)則，可把無塵室分成六級。分別是1級潔凈棚、10級潔凈棚、百級潔凈棚、千級潔凈棚、萬級、十萬級，若是無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm，1級、10 級、100 級無塵室大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5 μm ,無塵室等級應(yīng)該在一 特定塵粒尺寸的級數(shù)來展現(xiàn)。 1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5 μm ,無塵室等級應(yīng)該在一 特定塵粒尺寸的級數(shù)來展現(xiàn)。如: 10級在0.2 μm(塵粒尺寸在0.2 μm或更大下，1級在0.1 μm(塵粒尺寸在0.1 μm或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。

千級潔凈棚主要檢測標(biāo)準(zhǔn)包括:

1.氣流速度及其均勻度檢測。這項檢測是潔凈棚效果的其他各項檢測的前提,這項檢測的目的是為了清晰單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及均勻性。

2.系統(tǒng)或者房間的風(fēng)量檢測。

3.屋內(nèi)潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確認(rèn)潔凈環(huán)境可達(dá)到的空4氣潔凈度級別,可選用粒子計數(shù)器檢測。

4.自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查清潔凈棚內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5.氣流流型檢測。

6.噪音的檢測。

7.照度的檢查。照度檢查的目的是為了判明潔凈棚的照度水平和照度的均勻性。

8.振動的檢測。振動檢查的目的是為了判明千級潔凈棚各表明的振動幅度。

9.溫度濕度的檢測。溫度濕度檢測的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。檢測棚內(nèi)空=氣相對溫度,檢測回風(fēng)的溫度。

10.總的風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。